セミクローズドループによる空気静圧送りねじステージの精密位置決めの基礎検討
セミクローズドループによる空気静圧送りねじステージの精密位置決めの基礎検討
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空气静压丝杠半闭环精密定位基础研究
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
庭瀬 靖
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福田 眞;庭瀬 靖
