M.Koh: "New process for Si nanopyramid array (NPA) fabrication by means of ion beam irradiation and wet etching"Jph. J. Appl. Phys.. Vol.39 (in press). (2000)
M.Koh: "New process for Si nanopyramid array (NPA) fabrication by means of ion beam irradiation and wet etching"Jph. J. Appl. Phys.. Vol.39 (in press). (2000)
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M.Koh：“通过离子束照射和湿法蚀刻制造硅纳米金字塔阵列（NPA）的新工艺”Jph。
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