Effect of Metal-Assisted Catalytic Etching (MACE) on Single-Crystal Si Wafers With Faceted Macropores
Effect of Metal-Assisted Catalytic Etching (MACE) on Single-Crystal Si Wafers With Faceted Macropores
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金属辅助催化蚀刻 (MACE) 对多面大孔单晶硅片的影响
DOI：
10.1017/s1431927619011358
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发表时间：
2019
影响因子：
2.8
通讯作者：
Aindow, Mark
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ernst, Alexis T.;Kolasinski, Kurt W.;Unger, Bret A.;Aindow, Mark
影响因子：
5.5
作者：
Kolasinski，Kurt W.;Unger，Bret A.;Aindow，Mark
通讯作者：
Aindow，Mark