ヘリコン波プラズマにおけるイオンセンシティブプローブ計測の検討
ヘリコン波プラズマにおけるイオンセンシティブプローブ計測の検討
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螺旋波等离子体离子敏感探针测量研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲垣滋，佐々木真，小菅佑輔，山崎広太郎， 山田琢磨，永島芳彦，文贊鎬，荒川弘之，糟谷直宏，藤澤彰英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
河内裕一;稲垣滋，佐々木真，小菅佑輔，山崎広太郎， 山田琢磨，永島芳彦，文贊鎬，荒川弘之，糟谷直宏，藤澤彰英
