Hiroaki Kakiuchi, Hideaki Kawabe, Kumayasu Yoshii, Kiyoshi Yasutake, Akihiro Takeuchi, Kikuji Hirose and Yuzo Mori: "Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by RF Sputtering Method (1^<st> Report)" Journal of the Japan Society for Precisio
Hiroaki Kakiuchi, Hideaki Kawabe, Kumayasu Yoshii, Kiyoshi Yasutake, Akihiro Takeuchi, Kikuji Hirose and Yuzo Mori: "Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by RF Sputtering Method (1^<st> Report)" Journal of the Japan Society for Precisio
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Hiroaki Kakiuchi、Hideaki Kawabe、Kumayasu Yoshii、Kiyoshi Yasutake、Akihiro Takeuchi、Kikuji Hirose 和 Yuzo Mori：“采用 RF 溅射法的多晶硅薄膜的低温生长（第 1 次报告）” 日本精密学会杂志
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