Toshi Goto: "Study on polymeric neutral species in high-density fluorocarbon plasmas"Journal of Vacuum Science & Technology A. 18・1. 1-9 (2000)
Toshi Goto: "Study on polymeric neutral species in high-density fluorocarbon plasmas"Journal of Vacuum Science & Technology A. 18・1. 1-9 (2000)
复制标题
后藤敏：“高密度氟碳等离子体中的聚合物中性物种的研究”真空科学技术杂志A.18・1（2000）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
