Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
复制标题
多孔和实心硅片的金属辅助电化学纳米压印
DOI：
10.3791/61040-v
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Azeredo, Bruno P.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sharstniou, Aliaksandr;Niauzorau, Stanislau;Junghare, Ashlesha;Azeredo, Bruno P.
