In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn_2O_3薄膜の作製
In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn_2O_3薄膜の作製
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In薄膜热氧化及再结晶制备In_2O_3薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤祐一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大竹文人;羽鳥裕俊;小坂井啓一;佐藤祐一
