K.Asaumi, Y.Iriye, and K.Sato: "Anisotropic-etching process simulation system MICROCAD analyzing complete 3D etching profiles of single crystal silicon" Pros.of IEEE MEMS Workshop (Nagoya, Jan.). 412-417 (1997)
K.Asaumi, Y.Iriye, and K.Sato: "Anisotropic-etching process simulation system MICROCAD analyzing complete 3D etching profiles of single crystal silicon" Pros.of IEEE MEMS Workshop (Nagoya, Jan.). 412-417 (1997)
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K.Asaumi、Y.Iriye 和 K.Sato：“各向异性蚀刻工艺模拟系统 MICROCAD 分析单晶硅的完整 3D 蚀刻轮廓”Pros.of IEEE MEMS 研讨会（名古屋，1 月）。
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