ウェハレベルナノインプリント技術の応用展開に向けた充填挙動の制御や大面積モールド作製に関する研究
ウェハレベルナノインプリント技術の応用展開に向けた充填挙動の制御や大面積モールド作製に関する研究
复制标题
大面积模具填充行为控制与制作研究，促进晶圆级纳米压印技术应用与发展
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
廣島 洋
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
尹 成圓;鈴木 健太;廣島 洋
