4H-SiC Layers Grown by Liquid Phase Epitaxy on 4H-SiC Off-Axis Substrates

4H-SiC Layers Grown by Liquid Phase Epitaxy on 4H-SiC Off-Axis Substrates
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在 4H-SiC 离轴衬底上通过液相外延生长的 4H-SiC 层

DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.338-342.229
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发表时间:
2000
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
György Vida
György Vida
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N. Kuznetsov;A. Morozov;D. Bauman;V. Ivantsov;V. A. Sukhoveyev;I. Nikitina;A. Zubrilov;S. Rendakova;V. Dmitriev;D. Hofman;György Vida

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