Phase trimming of Mach-Zehnder interferometers by laser annealing of germanium implanted waveguides
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通过注入锗波导的激光退火对马赫-曾德干涉仪进行相位微调
DOI：
10.1109/group4.2017.8082185
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chen X
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chen X
