Experimental and ReaxFF MD studies for Boron Nitride ALD growth from BCl3 and NH3 precursors
Experimental and ReaxFF MD studies for Boron Nitride ALD growth from BCl3 and NH3 precursors
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利用 BCl3 和 NH3 前体生长氮化硼 ALD 的实验和 ReaxFF MD 研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Tokumasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoya Uene;Takuya Mabuchi;Yong Jin;Masaru Zaitsu;Shigeo Yasuhara;Adri van Duin;Takashi Tokumasu
