Threading Screw Dislocations Conversion and Suppression of Inclusions in 3-inch 4° off-axis C-face 4H-SiC Solution Growth with Pure Si
Threading Screw Dislocations Conversion and Suppression of Inclusions in 3-inch 4° off-axis C-face 4H-SiC Solution Growth with Pure Si
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纯硅 3 英寸 4° 离轴 C 面 4H-SiC 溶液生长中的螺纹螺位错转化和夹杂物抑制
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
TORU UJIHARA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
TAKAMA UNNO;CAN ZHU;SHUNTA HARADA;HARUHIKO KOIZUMI;MIHO TAGAWA;TORU UJIHARA
