準大気圧雰囲気での水素プラズマ化学輸送法を用いたシリコンナノワイヤの形成
準大気圧雰囲気での水素プラズマ化学輸送法を用いたシリコンナノワイヤの形成
复制标题
在负压气氛下利用氢等离子体化学输运法形成硅纳米线
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
竹本啓輝，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yutaka Noguchi;Hyunsoo Lim;Takashi Isoshima;Eisuke Ito;Masahiko Hara;Whee Won Chin;Jin Wook Han;Hiroumi Kinjo;Yusuke Ozawa;Yasuo Nakayama;and Hisao Ishii;守屋瑠璃子・松浦大輔・武田行生;竹本啓輝，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
