INTERNAL-STRESS AND STRUCTURE OF EVAPORATED CHROMIUM AND MGF2 FILMS AND THEIR DEPENDENCE ON SUBSTRATE-TEMPERATURE
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DOI：
10.1016/0040-6090(84)90179-2
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发表时间：
1984-01-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
MARTINZ, HP
中科院分区：
文献类型：
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作者：
ABERMANN, R;MARTINZ, HP
