Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe
Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe
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使用表面相互作用力检测型微探针对微米级孔径进行尺寸测量
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kimihisa Matsumoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Daichi Kato;So Ito;Kazuhide Kamiya;Kimihisa Matsumoto
