T.Matsuura, K.Suzue, J.Murota, Y.Sawada, and T.Ohmi: "Self-limited Atomic-Layr Etching of Si" Edited by E.M.Middlesworth and H.Massoud, Proceedings of the 5th International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology/1995 (The Electr
T.Matsuura, K.Suzue, J.Murota, Y.Sawada, and T.Ohmi: "Self-limited Atomic-Layr Etching of Si" Edited by E.M.Middlesworth and H.Massoud, Proceedings of the 5th International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology/1995 (The Electr
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T.Matsuura、K.Suzue、J.Murota、Y.Sawada 和 T.Ohmi：“Si 的自限原子层蚀刻”，E.M.Middlesworth 和 H.Massoud 编辑，第五届超大型国际研讨会论文集
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