Analysis of inhomogeneities on wafers by the integral transform method
Analysis of inhomogeneities on wafers by the integral transform method
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积分变换法分析晶片的不均匀性
DOI：
10.1007/bf02754310
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发表时间：
2000
影响因子：
0.6
通讯作者：
V. Ivakhnenko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Eremin;V. Ivakhnenko
