Deep-Learning-Assisted Focused Ion Beam Nanofabrication.
Deep-Learning-Assisted Focused Ion Beam Nanofabrication.
复制标题
深度学习辅助聚焦的离子束纳米化。
DOI：
10.1021/acs.nanolett.1c04604
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发表时间：
2022-04-13
期刊：
影响因子：
10.8
通讯作者：
MacDonald KF
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Buchnev O;Grant-Jacob JA;Eason RW;Zheludev NI;Mills B;MacDonald KF
聚焦离子束（FIB）铣削是微纳米制造、器件和材料表征的重要快速成型工具。它允许在各种各样的材料中制造任意结构，但是为给定任务建立工艺参数是一个多维优化挑战，通常通过耗时，反复的试错来解决。在这里，我们表明，从先前的制造经验中深度学习可以预测由聚焦离子束（FIB）铣削制造的结构的后期外观，在离子束参数范围内，考虑到仪器和目标特定的伪影，精度为bb0 96%。由于预测只需几毫秒，该方法可以在接近实时的情况下部署，以加快优化并提高FIB处理的可重复性。
Focused ion beam (FIB) milling is an important rapid prototyping tool for micro- and nanofabrication and device and materials characterization. It allows for the manufacturing of arbitrary structures in a wide variety of materials, but establishing the process parameters for a given task is a multidimensional optimization challenge, usually addressed through time-consuming, iterative trial-and-error. Here, we show that deep learning from prior experience of manufacturing can predict the postfabrication appearance of structures manufactured by focused ion beam (FIB) milling with >96% accuracy over a range of ion beam parameters, taking account of instrument- and target-specific artifacts. With predictions taking only a few milliseconds, the methodology may be deployed in near real time to expedite optimization and improve reproducibility in FIB processing.
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影响因子：
64.8
作者：
Jumper J;Evans R;Pritzel A;Green T;Figurnov M;Ronneberger O;Tunyasuvunakool K;Bates R;Žídek A;Potapenko A;Bridgland A;Meyer C;Kohl SAA;Ballard AJ;Cowie A;Romera-Paredes B;Nikolov S;Jain R;Adler J;Back T;Petersen S;Reiman D;Clancy E;Zielinski M;Steinegger M;Pacholska M;Berghammer T;Bodenstein S;Silver D;Vinyals O;Senior AW;Kavukcuoglu K;Kohli P;Hassabis D
通讯作者：
Hassabis D
影响因子：
3.8
作者：
Mills, Ben;Heath, Daniel J.;Eason, Robert W.
通讯作者：
Eason, Robert W.
影响因子：
4.6
作者：
Jha, Dipendra;Ward, Logan;Agrawal, Ankit
通讯作者：
Agrawal, Ankit
影响因子：
8.6
作者：
Iten, Raban;Metger, Tony;del Rio, Lidia
通讯作者：
del Rio, Lidia
影响因子：
3.8
作者：
Heath, Daniel J.;Grant-Jacob, James A.;Mills, Ben
通讯作者：
Mills, Ben