Integration of Out-of-plane Silicon Dioxide Microtubes, Silicon Microprobes, and On-chip NMOSFETs by Selective Vapor-Liquid-Solid Growth
Integration of Out-of-plane Silicon Dioxide Microtubes, Silicon Microprobes, and On-chip NMOSFETs by Selective Vapor-Liquid-Solid Growth
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通过选择性气-液-固生长集成面外二氧化硅微管、硅微探针和片上 NMOSFET
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Takei;T. Kawashima;T. Kawano;H. Takao;K. Sawada;and M. Ishida
