H.Kinoshita: "A multilayer-coated reflection mirror for microfabrication"Jpn. J. Appl. Phys.. 37. 2758-2761 (1998)
H.Kinoshita: "A multilayer-coated reflection mirror for microfabrication"Jpn. J. Appl. Phys.. 37. 2758-2761 (1998)
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H.Kinoshita：“用于微加工的多层镀膜反射镜”Jpn。
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