大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製
大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製
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常压低温等离子体制备ZnO薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須崎嘉文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Watanabe;H. Minami;T. Kitamura;Y. Saiwai;Y. Shibano;T. Katsuragawa;H. Kubo;K. Sakamoto;T. Kashiwagi;R. A. Klemm and K. Kadowaki;中尾祥一郎，廣瀬靖，長谷川哲也;須崎嘉文
