高い表面応力感度を有する封止キャビティ構造のMEMS光干渉型バイオセンサの作製・評価
高い表面応力感度を有する封止キャビティ構造のMEMS光干渉型バイオセンサの作製・評価
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高表面应力敏感密封腔结构MEMS光干涉型生物传感器的制作与评价
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋一浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋利昌;崔 容俊;丸山 智史;瀧美樹;澤田和明;高橋一浩
