前驱体温度对激光化学气相沉积YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜结构及性能的影响
前驱体温度对激光化学气相沉积YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜结构及性能的影响
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DOI：
10.11951/j.issn.1005-0299.20180365
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐源来
中科院分区：
文献类型：
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作者：
张琼;赵培;吴慰;戴武斌;Goto Takashi;徐源来
采用激光化学气相沉积法在Al_2O_3基底上以49 μm·h~(-1)的沉积速率高速制备了c -轴取向的YBa_2Cu_3O_(7 - δ)薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响。研究表明,Ba、Cu、Y前驱体加热温度分别为603、478、459 K时制备的薄膜在经813 K高温热处理12 h后,临界温度可达83 K。