MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツボロメータの開発
MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツボロメータの開発
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使用MEMS谐振器开发室温、高速、高灵敏度太赫兹辐射热测量计
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張 亜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平川一彦;張 亜
