Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching
Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching
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使用同步扫描投影光刻和化学蚀刻制造圆柱形微型零件
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Toshiyuki Horiuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kaiki Ito;Yuhta Suzuki;and Toshiyuki Horiuchi
