スパッタ成膜法によるGe(100)基板上のGeSnエピタキシャル成長

スパッタ成膜法によるGe(100)基板上のGeSnエピタキシャル成長
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溅射沉积法在Ge(100)衬底上外延生长GeSn

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡部 平司
渡部 平司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
國吉 望月;安部 和弥;田中 信敬;星原 雅生,小林 拓真;志村 考功;渡部 平司

文献摘要

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