S.Takehiro: "Sputtering of Aluminum Film Using Microwave Plasma with High Magnetic Field" Extended Abstracts of 1991 International Conference of SSDM. 129-131 (1991)
S.Takehiro: "Sputtering of Aluminum Film Using Microwave Plasma with High Magnetic Field" Extended Abstracts of 1991 International Conference of SSDM. 129-131 (1991)
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S.Takehiro：“使用高磁场微波等离子体溅射铝膜”1991年SSDM国际会议的扩展摘要。
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