Bowing Control of Sputtered AlN Caused by High Temperature Annealing
Bowing Control of Sputtered AlN Caused by High Temperature Annealing
复制标题
高温退火引起溅射AlN弯曲的控制
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and H. Miyake
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hayashi;K. Tanigawa;K. Shojiki;and H. Miyake
