Native Oxide Removal from InAlN Surfaces by Hydrofluoric Acid Based Treatment

Native Oxide Removal from InAlN Surfaces by Hydrofluoric Acid Based Treatment
复制标题

通过氢氟酸处理去除 InAlN 表面的自然氧化物

DOI:
10.1587/transele.e96.c.686
复制
发表时间:
2013
影响因子:
0.5
通讯作者:
T. Nakano and M. Akazawa
T. Nakano and M. Akazawa
中科院分区:
工程技术4区
文献类型:
--
作者:
飯田和貴;横田裕樹;夫恒範;金大貴;T. Nakano and M. Akazawa

文献摘要

相似文献