レーザプラズマX 線とエキシマレーザを併用したa-Si 膜の低温結晶化
レーザプラズマX 線とエキシマレーザを併用したa-Si 膜の低温結晶化
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使用激光等离子体 X 射线和准分子激光进行非晶硅薄膜的低温结晶
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
望月
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高梨;部家;上拾石;松尾;天野;宮本;望月
