マグネトロンスパッタにより作製した酸化チタン薄膜の結晶構造及び光学・電子物性の評価
マグネトロンスパッタにより作製した酸化チタン薄膜の結晶構造及び光学・電子物性の評価
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磁控溅射二氧化钛薄膜的晶体结构和光电性能评价
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
市川 洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
デシュムク ラフール;本田 光裕;安部 功二;後藤 敬典;高柳 真司;堀尾 吉巳;市川 洋
