One-dimensional Wolter optics with a sub-50-nm spatial resolution.
One-dimensional Wolter optics with a sub-50-nm spatial resolution.
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空间分辨率低于 50 nm 的一维 Wolter 光学器件。
作者:
M.Akita;S.Yoshida;T.Morimoto;T.Ushio;Z.Kawasaki;松山智至