Measurement of surface potential of a resist film irradiated by electron beam
Measurement of surface potential of a resist film irradiated by electron beam
复制标题
电子束照射抗蚀剂膜表面电位的测量
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M.Kotera
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Yuhara;K. Daisuke;T. Matsui;S. Mizuno;A. Suzuki and T. Ikari;M.Kotera
