H.Fujiyama: "Effect of Silicon particles on DC and AC Discharge Characteristics in Magnetized Silane Plasmas" Proc.of 12th International Symposium on Plasma Chemistry. 3. 1295-1300 (1995)

H.Fujiyama: "Effect of Silicon particles on DC and AC Discharge Characteristics in Magnetized Silane Plasmas" Proc.of 12th International Symposium on Plasma Chemistry. 3. 1295-1300 (1995)
复制标题

H.Fujiyama:“硅颗粒对磁化硅烷等离子体中直流和交流放电特性的影响”第 12 届国际等离子体化学研讨会论文集。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献