光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術 -音速同時計測手法による膜厚計測精度評価と内部残留応力計測-
光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術 -音速同時計測手法による膜厚計測精度評価と内部残留応力計測-
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利用光热转换效应的不透明多层膜厚度测量技术 - 使用声速同时测量方法的膜厚度测量精度评估和内部残余应力测量 -
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石丸伊知郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
奥田貴啓;石丸伊知郎
