Measurements of In-Plane Thermal Conductivity and Electrical Conductivity of Suspended Platinum Thin Film
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DOI：
10.2963/jjtp.19.9
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Xing Zhang;Huaqing Xie;M. Fujii;Koji Takahashi;H. Ago;Tetsuo Shimizu;H. Abe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xing Zhang;Huaqing Xie;M. Fujii;Koji Takahashi;H. Ago;Tetsuo Shimizu;H. Abe
本研究は定常短細線加熱法によるカーボンナノチューブの熱伝導率測定に関する研究の一部として、白金ナノプローブ自体の電気的および熱的特性を測定したものである。Si 基板に電子ビームリソグラフィによるパターン化、電子ビーム蒸着法による製膜およびエッチング処理などによって、厚さ40 nm、幅360-600 nm 、長さ約6 μｍの懸架白金ナノプローブを製作した。10°Cから60°Cの温度範囲でプローブの電気抵抗を測定し、懸架白金ナノプローブの電気抵抗の温度係数を求めた。さらに、真空中で通電加熱し、一次元熱伝導モデルを用いて、懸架白金薄膜面方向の熱伝導率を算出した。その結果、懸架白金薄膜面方向の熱伝導率および電気伝導度とその温度係数がバルクの値より大きく低下することが明らかになった。