Control of Plasma Profile in Microwave Discharges via Inverse-Problem Approach
Control of Plasma Profile in Microwave Discharges via Inverse-Problem Approach
复制标题
通过反问题方法控制微波放电中的等离子体分布
DOI：
10.1063/1.4840735
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
1.6
通讯作者：
A. Tsuji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Yasaka;N. Tobita;A. Tsuji
