Study on a Production Control of Microwave-Excited Plasmas by an Antenna-Cavity with the Specific Structure
Study on a Production Control of Microwave-Excited Plasmas by an Antenna-Cavity with the Specific Structure
复制标题
特定结构天线腔微波激发等离子体产生控制的研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Tobita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Ota;Y.Yasaka;N.Tobita
