17. 1 nm 极紫外滤光片的制备
17. 1 nm 极紫外滤光片的制备
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DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陈 波
中科院分区：
文献类型：
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作者：
牛筱茜;缪鹏飞;王瀚林;王孝东;陈 波
