水素添加Ta_2O_5スパッタ薄膜のイオン伝導性に及ぼす基板温度の影響
水素添加Ta_2O_5スパッタ薄膜のイオン伝導性に及ぼす基板温度の影響
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衬底温度对氢化Ta_2O_5溅射薄膜离子电导率的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木勉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
滝口康弘;彭〓;阿部良夫;佐々木克孝;川村みどり;伊藤英信;鈴木勉
