一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)
一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陈健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王军波;陈德勇;陈健
