S. Iizuka: "Plasma density increase in uniform ECR plasma of large diameter" Proc. 10th Symp. on Plasma Processing. 121-124 (1993)
S. Iizuka: "Plasma density increase in uniform ECR plasma of large diameter" Proc. 10th Symp. on Plasma Processing. 121-124 (1993)
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S. Iizuka：“大直径均匀 ECR 等离子体中的等离子体密度增加”Proc。
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