Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode
Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode
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使用阵列 SMA 厚膜致动器和带有单独连接二极管的 Si TSV 层制造触觉显示机制
DOI：
10.1541/ieejsmas.141.260
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发表时间：
2021
影响因子：
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通讯作者：
T. Mineta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Saito;Y. Kimura;J. Xu;T. Mineta
