Si-Glass 深堀加工を 用いたロボット統合型マイ クロ流体チップの作製

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利用硅玻璃深加工制造机器人集成微流控芯片

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中原康,佐久間 臣耶,新井史人
中原康,佐久間 臣耶,新井史人
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Takeshi Hayakawa;Shinya Sakuma;Fumihito Arai;中原康,佐久間 臣耶,新井史人

文献摘要

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