ＡｌＮ／ダイヤモンドヘテロ接合ＦＥＴとＭＥＭＳスイッチ
ＡｌＮ／ダイヤモンドヘテロ接合ＦＥＴとＭＥＭＳスイッチ
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AlN/金刚石异质结 FET 和 MEMS 开关
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小出 康夫，廖 梅勇，井村 将隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Nishiumi;K. Yamashita;H. Tanaka;M. Noda;小出 康夫，廖 梅勇，井村 将隆
