Low-Energy Secondary Electron Filtering with Immersion Lens SEM
Low-Energy Secondary Electron Filtering with Immersion Lens SEM
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使用浸没透镜 SEM 进行低能二次电子过滤
DOI：
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发表时间：
2009
影响因子：
2.8
通讯作者：
L. Tůma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Young;E. Bosch;M. Uncovsky;L. Tůma
2009年7月26日至7月30日在美国弗吉尼亚州里士满举行的2009年显微镜和显微分析会议上发表的一篇论文的扩展摘要
Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2009 in Richmond, Virginia, USA, July 26 – July 30, 2009