Y. Sun, K. Nakatsugi and T. Miyasato: "Stress Release Behaviors of Amorphous SiC/Si Structure during Annealing"Jpn. J. Appl. Phys.. 40-11. 6296 (2001)
Y. Sun, K. Nakatsugi and T. Miyasato: "Stress Release Behaviors of Amorphous SiC/Si Structure during Annealing"Jpn. J. Appl. Phys.. 40-11. 6296 (2001)
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Y. Sun、K. Nakatsugi 和 T. Miyasato:“非晶 SiC/Si 结构在退火过程中的应力释放行为”Jpn。
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