ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究（停止状態の安定性と位置決め分解能に関する実験と考察）
ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究（停止状態の安定性と位置決め分解能に関する実験と考察）
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滚珠丝杠传动亚纳米定位研究（停止状态稳定性和定位分辨率的实验和思考）
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田 茂生，志村 武彦，清水 英興
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shigeo FUKADA;Tetsuya MIMURA and Daisuke KOBAYASHI;深田 茂生，志村 武彦，清水 英興
